
M-2型数字式电阻率测试仪是使用四探针丈量道理的多种用处综合丈量装置,,,它能够丈量片状,,,块状半导体资料的径向和轴向电阻率,,,丈量扩散层的薄层电阻(也称方块电阻)。;;簧咸刂频乃奶秸氩馐约芯,,,还能够对金属导体的低,,,中值电阻进行丈量。。
仪器由主机,,,测试探头(可选配测试台)等部门组成,,,测试了局用数字表头直接显示。。主机重要由数控恒流源,,,高分辨率ADC,,,嵌入式单片机系统组成,,,自动转换量程。。测试探头选取高耐磨碳化钨探针制成,,,定位正确,,,游移率较小,,,寿命长。。
仪器合用于半导体资料厂,,,半导体器件厂,,,科研单元,,,高档院校对半导体资料的电阻机能的测试。。出格合用于要求急剧丈量中低电阻率的场所.
本仪器工作前提为:
温度:
相对湿度: 60% ~ 70%
工作室内应无强电磁场滋扰,,,不与高频设备共用电源
二、、技术参数
1. 丈量领域:
电阻率:10 -2? ~ 102Ω-cm
方块电阻:10 -1? ~ 103Ω/□
电阻:10 -3? ~ 9999Ω
2. 可测半导体资料尺寸
直径:15mm-100mm
长(或高)度:≤400mm
3. 丈量方位:
轴向,,,径向均可
4. 数字电压表
量程:2V
误差: :± 0.1% FSB ± 2LSB
最大分辨力:10μA
精度: 18位ADC ( 5 1/2 位)
显示:4位数字显示,,,小数点自动显示
5. 数控恒流源
电流输出: 直流电流 2μA~ 2mA, 2μA步进可调,,,系统自动调整。。
误差:± 0.1% FSB ± 0.5LSB
6. 四探针测试探头:
探针间距: 1mm
探针机械游移率:± 1%
探针:碳化钨,,,直径0.5mm
7.电源:
DC 4.5V ~8V
功耗: < 1W
电源适配器:输入: 220V±10% 50Hz
输出:DC5V ± 10%
8. 外形尺寸:
主机: 170mm (长) X 130mm (宽) X50mm(高)




